KIT | KIT-Bibliothek | Impressum | Datenschutz

Lithographisch hergestellte Mikrostrukturen. Herausforderungen zwischen Innovation und Anwendung

Schulz, J. ORCID iD icon


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Buchaufsatz
Publikationsjahr 2004
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 280057002
HGF-Programm 41.01.01 (POF I, LK 01) LITHOGRAPHIE
Seiten 83-87
Erscheinungsvermerk 5.Statuskolloquium des Programms Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 10.-11.Februar 2004 Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6990 (Januar 2004)
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
KITopen Landing Page