Lithographisch hergestellte Mikrostrukturen. Herausforderungen zwischen Innovation und Anwendung
Schulz, J.
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 2004 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 280057002 |
| HGF-Programm | 41.01.01 (POF I, LK 01) LITHOGRAPHIE |
| Seiten | 83-87 |
| Erscheinungsvermerk | 5.Statuskolloquium des Programms Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 10.-11.Februar 2004 Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6990 (Januar 2004) |