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Lithographisch hergestellte Mikrostrukturen. Herausforderungen zwischen Innovation und Anwendung

Schulz, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Buchaufsatz
Jahr 2004
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 280057002
HGF-Programm 41.01.01 (POF I, LK 01)
Seiten 83-87
Erscheinungsvermerk 5.Statuskolloquium des Programms Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 10.-11.Februar 2004 Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6990 (Januar 2004)
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