Lasertechnik und mikromechanische Bearbeitung. Entwicklungen zur Mikrostrukturierung, Oberflächenmodifikation und Verbindungstechnik
Pfleging, W.
; Rohde, M.; Heidinger, R.; Gietzelt, T.
; Schaller, T.
; Rohde, M.; Heidinger, R.; Gietzelt, T.
; Schaller, T.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) Mikrotechnologie (MIKRO) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 2004 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 280057003 |
| HGF-Programm | 41.01.02 (POF I, LK 01) Laser-u.mechanische Mikrostrukturierung |
| Seiten | 89-94 |
| Erscheinungsvermerk | 5.Statuskolloquium des Programms Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 10.-11.Februar 2004 Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6990 (Januar 2004) |