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Lasertechnik und mikromechanische Bearbeitung. Entwicklungen zur Mikrostrukturierung, Oberflächenmodifikation und Verbindungstechnik

Pfleging, W.; Rohde, M.; Heidinger, R.; Gietzelt, T.; Schaller, T.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Mikrotechnologie (MIKRO)
Publikationstyp Buchaufsatz
Jahr 2004
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 280057003
HGF-Programm 41.01.02; LK 01
Seiten 89-94
Erscheinungsvermerk 5.Statuskolloquium des Programms Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 10.-11.Februar 2004 Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6990 (Januar 2004)
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