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CMOS-kompatible magnetische Dünnschichten für HF-Mikroinduktoren

Leiste, H.; Seemann, K.; Bekker, V.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Buchaufsatz
Jahr 2004
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 280057005
HGF-Programm 41.02.02; LK 01
Seiten 103-08
Erscheinungsvermerk 5.Statuskolloquium des Programms Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 10.-11.Februar 2004 Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6990 (Januar 2004)
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