CMOS-kompatible magnetische Dünnschichten für HF-Mikroinduktoren
Leiste, H.; Seemann, K.
; Bekker, V.
; Bekker, V.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 2004 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 280057005 |
| HGF-Programm | 41.02.02 (POF I, LK 01) Dünnschichten |
| Seiten | 103-08 |
| Erscheinungsvermerk | 5.Statuskolloquium des Programms Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 10.-11.Februar 2004 Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6990 (Januar 2004) |