Mikroverfahrenstechnik: Modelle, Herstellung, Apparate, Applikationen

Brandner, J. J.; Bohn, L.; Hansjosten, E.; Pfeifer, P.; Rinke, G.; Schygulla, U.; Schubert, K.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikroverfahrenstechnik (IMVT)
Publikationstyp	Buchaufsatz
Publikationsjahr	2004
Sprache	Deutsch
Identifikator	KITopen-ID: 280057009
HGF-Programm	41.07.01 (POF I, LK 01) Auslegungsgrundl.v.Mikrostrukturapp.
Seiten	129-35
Erscheinungsvermerk	5.Statuskolloquium des Programms Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 10.-11.Februar 2004 Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6990 (Januar 2004)