Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Informatik (IAI) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Buchaufsatz |
Publikationsjahr | 2004 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 280057013 |
HGF-Programm | 41.08.02 (POF I, LK 01) Prozessanalytik |
Seiten | 159-64 |
Erscheinungsvermerk | 5.Statuskolloquium des Programms Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 10.-11.Februar 2004 Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6990 (Januar 2004) |