Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikroverfahrenstechnik (IMVT) Institut für Reaktorsicherheit (IRS_CN) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsmonat/-jahr | 01.2004 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | ISSN: 0947-8620 KITopen-ID: 280057015 |
HGF-Programm | 41.07.01 (POF I, LK 01) Auslegungsgrundl.v.Mikrostrukturapp. |
Erschienen in | 5. Statuskolloquium des Programms Mikrosystemtechnik, 10/11. Februar 2004 im Forschungszentrum Karlsruhe |
Veranstaltung | 5. Statuskolloquium des Programms Mikrosystemtechnik (2004), Karlsruhe, Deutschland, 10.02.2004 – 11.02.2004 |
Verlag | Forschungszentrum Karlsruhe (FZKA) |
Seiten | 171-176 |
Serie | Wissenschaftliche Berichte FZKA ; 6990 |