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Keramische Mikrostrukturen durch Röntgentiefenlithographie

Schulz, M.; Börner, M.; Göttert, J.; Hanemann, T.; Heldele, R.; Motz, G.; Hausselt, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Buchaufsatz
Jahr 2004
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 280057016
HGF-Programm 41.03.01; LK 01
Seiten 179-80
Erscheinungsvermerk 5.Statuskolloquium des Programms Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 10.-11.Februar 2004 Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6990 (Januar 2004) (Poster)
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