Erhöhung der Prozesssicherheit bei der Fertigung von LIGA-Formeinsätzen
Guttmann, M.
; Achenbach, S.; Bade, K.
; Hahn, L.; Janssen, A.; Köhler, U.; Last, A.
; Schulz, J.
; Winkler, F.
; Achenbach, S.; Bade, K.
; Hahn, L.; Janssen, A.; Köhler, U.; Last, A.
; Schulz, J.
; Winkler, F.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 2004 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 280057017 |
| HGF-Programm | 41.01.01 (POF I, LK 01) LITHOGRAPHIE |
| Seiten | 181-82 |
| Erscheinungsvermerk | 5.Statuskolloquium des Programms Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 10.-11.Februar 2004 Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6990 (Januar 2004) (Poster) |