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Erhöhung der Prozesssicherheit bei der Fertigung von LIGA-Formeinsätzen

Guttmann, M.; Achenbach, S.; Bade, K.; Hahn, L.; Janssen, A.; Köhler, U.; Last, A.; Schulz, J.; Winkler, F.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Buchaufsatz
Jahr 2004
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 280057017
HGF-Programm 41.01.01; LK 01
Seiten 181-82
Erscheinungsvermerk 5.Statuskolloquium des Programms Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 10.-11.Februar 2004 Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6990 (Januar 2004) (Poster)
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