KIT | KIT-Bibliothek | Impressum | Datenschutz

Erhöhung der Prozesssicherheit bei der Fertigung von LIGA-Formeinsätzen

Guttmann, M.; Achenbach, S.; Bade, K. ORCID iD icon; Hahn, L.; Janssen, A.; Köhler, U.; Last, A.; Schulz, J. ORCID iD icon; Winkler, F.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Buchaufsatz
Publikationsjahr 2004
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 280057017
HGF-Programm 41.01.01 (POF I, LK 01) LITHOGRAPHIE
Seiten 181-82
Erscheinungsvermerk 5.Statuskolloquium des Programms Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 10.-11.Februar 2004 Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6990 (Januar 2004) (Poster)
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
KITopen Landing Page