KIT | KIT-Bibliothek | Impressum | Datenschutz

Metrische Genauigkeiten bei der Zahnradfertigung mit LIGA

Thelen, R.; Meyer, P.; Schulz, J.; Jakobs, P.; Lange, J.; Arendt, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
ANKA - die Synchrotronstrahlungsquelle am KIT (ANKA)
Publikationstyp Buchaufsatz
Jahr 2004
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 280057019
HGF-Programm 41.01.01 (POF I, LK 01)
Seiten 185-86
Erscheinungsvermerk 5.Statuskolloquium des Programms Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 10.-11.Februar 2004 Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6990 (Januar 2004) (Poster)
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft KITopen Landing Page