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Metrische Genauigkeiten bei der Zahnradfertigung mit LIGA

Thelen, R.; Meyer, P.; Schulz, J.; Jakobs, P.; Lange, J.; Arendt, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT ANKA - die Synchrotronstrahlungsquelle am KIT (ANKA)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Buchaufsatz
Jahr 2004
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 280057019
HGF-Programm 41.01.01; LK 01
Seiten 185-86
Erscheinungsvermerk 5.Statuskolloquium des Programms Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 10.-11.Februar 2004 Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6990 (Januar 2004) (Poster)
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