Metrische Genauigkeiten bei der Zahnradfertigung mit LIGA
Thelen, R.; Meyer, P.; Schulz, J.
; Jakobs, P.; Lange, J.; Arendt, M.
; Jakobs, P.; Lange, J.; Arendt, M.| Zugehörige Institution(en) am KIT | ANKA - die Synchrotronstrahlungsquelle am KIT (ANKA) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 2004 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 280057019 |
| HGF-Programm | 41.01.01 (POF I, LK 01) LITHOGRAPHIE |
| Seiten | 185-86 |
| Erscheinungsvermerk | 5.Statuskolloquium des Programms Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 10.-11.Februar 2004 Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6990 (Januar 2004) (Poster) |