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Materialcharakterisierung an metallischen LIGA-Proben

Bade, K.; Janssen, A.; Aktaa, J.; Reszat, J. Th.; Exner, D.; Volkert, C. A.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Buchaufsatz
Publikationsjahr 2004
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 280057029
HGF-Programm 41.01.01 (POF I, LK 01) LITHOGRAPHIE
Seiten 207-08
Erscheinungsvermerk 5.Statuskolloquium des Programms Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 10.-11.Februar 2004 Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6990 (Januar 2004) (Poster)
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