Mikro-Femos: Mikrofertigungstechnik für hybride mikrooptische Sensoren. Realisierung der Prozesskette
Hofmann, A.
; Gengenbach, U.; Sieber, I.
; Scharnowell, R.; Dittrich, H.; Heckele, M.; Hollenbach, U.; Mohr, J.; Schomburg, W.; Schröer, M.; Wallrabe, U.; Bär, M.; Kadel, K.; Reinecke, H.; Utech, H.; Stautmeister, T.
; Gengenbach, U.; Sieber, I.
; Scharnowell, R.; Dittrich, H.; Heckele, M.; Hollenbach, U.; Mohr, J.; Schomburg, W.; Schröer, M.; Wallrabe, U.; Bär, M.; Kadel, K.; Reinecke, H.; Utech, H.; Stautmeister, T.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Informatik (IAI) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 2004 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 280057036 |
| HGF-Programm | 41.04.02 (POF I, LK 01) Sensorik |
| Seiten | 221-22 |
| Erscheinungsvermerk | 5.Statuskolloquium des Programms Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 10.-11.Februar 2004 Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6990 (Januar 2004) (Poster) |