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Mikro-Femos: Mikrofertigungstechnik für hybride mikrooptische Sensoren. Realisierung der Prozesskette

Hofmann, A.; Gengenbach, U.; Sieber, I.; Scharnowell, R.; Dittrich, H.; Heckele, M.; Hollenbach, U.; Mohr, J.; Schomburg, W.; Schröer, M.; Wallrabe, U.; Bär, M.; Kadel, K.; Reinecke, H.; Utech, H.; Stautmeister, T.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Informatik (IAI)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Buchaufsatz
Jahr 2004
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 280057036
HGF-Programm 41.04.02; LK 01
Seiten 221-22
Erscheinungsvermerk 5.Statuskolloquium des Programms Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 10.-11.Februar 2004 Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6990 (Januar 2004) (Poster)
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