Mikro-FEMOS: Mikrofertigungstechnik für hybride mikrooptische Sensoren. Design und Prototyping
Hollenbach, U.; Mohr, J.; Wallrabe, U.; Sieber, I.
; Stautmeister, T.; Reinecke, H.
; Stautmeister, T.; Reinecke, H.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Informatik (IAI) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 2004 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 280057037 |
| HGF-Programm | 41.08.01 (POF I, LK 01) Telekommunikation |
| Seiten | 223-24 |
| Erscheinungsvermerk | 5.Statuskolloquium des Programms Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 10.-11.Februar 2004 Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6990 (Januar 2004) (Poster) |