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Mikro-FEMOS: Mikrofertigungstechnik für hybride mikrooptische Sensoren. Design und Prototyping

Hollenbach, U.; Mohr, J.; Wallrabe, U.; Sieber, I.; Stautmeister, T.; Reinecke, H.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Informatik (IAI)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Buchaufsatz
Jahr 2004
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 280057037
HGF-Programm 41.08.01; LK 01
Seiten 223-24
Erscheinungsvermerk 5.Statuskolloquium des Programms Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 10.-11.Februar 2004 Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6990 (Januar 2004) (Poster)
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