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Mikro-FEMOS: Mikrofertigungstechnik für hybride mikrooptische Sensoren. Abformtechnik für mikro-optische Bänke

Heckele, M.; Dittrich, H.; Schomburg, W.; Schröer, M.; Utech, H.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Buchaufsatz
Jahr 2004
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 280057038
HGF-Programm 41.02.01 (POF I, LK 01)
Seiten 225-26
Erscheinungsvermerk 5.Statuskolloquium des Programms Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 10.-11.Februar 2004 Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6990 (Januar 2004) (Poster)
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