Refractive Röntgenlinsen in Polymer nach dem LIGA-Verfahren

Nazmov, V.; Reznikova, E.; Achenbach, S.; Börner, M.; Mohr, J.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Buchaufsatz
Publikationsjahr	2004
Sprache	Deutsch
Identifikator	KITopen-ID: 280057041
HGF-Programm	55.01.01 (POF I, LK 01)
Seiten	231-32
Erscheinungsvermerk	5.Statuskolloquium des Programms Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 10.-11.Februar 2004 Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6990 (Januar 2004) (Poster)