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Refractive Röntgenlinsen in Polymer nach dem LIGA-Verfahren

Nazmov, V.; Reznikova, E.; Achenbach, S.; Börner, M.; Mohr, J.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Buchaufsatz
Publikationsjahr 2004
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 280057041
HGF-Programm 55.01.01 (POF I, LK 01)
Seiten 231-32
Erscheinungsvermerk 5.Statuskolloquium des Programms Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 10.-11.Februar 2004 Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6990 (Januar 2004) (Poster)
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