Ceramics processing in microtechnology
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung - Werkstoffprozesstechnik (IMF3) (IMF3) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 2009 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 280076002 |
| HGF-Programm | 43.01.03 (POF II, LK 01) Replikation |
| Seiten | 7-17 |
| Erscheinungsvermerk | Applied Particle Technology : Proc.of an Internat.Seminar, Tomsk, Russia, September 22-27, 2008 Wissenschaftliche Berichte, FZKA-7460 (Juli 2009) |