Zugehörige Institution(en) am KIT | Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik – Institut für Höchstfrequenztechnik und Elektronik (IHE) |
Publikationstyp | Buchaufsatz |
Publikationsjahr | 1997 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 285197 |
Erscheinungsvermerk | In: Proceedings. 12th Topical Conference on Radio Frequency Power in Plasmas, Savannah, Ga. 1997. S. 183-190. (AIP conference proceedings. 403.) |