| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 1990 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 285390 |
| Erscheinungsvermerk | In: Micro Systems Technologies '90. 1. Int. Fachkongr., Berlin 1990. Berlin 1990. S. 10- 23. |