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Aufbau hybrider mikrooptischer Funktionsmodule für die optische Nachrichtentechnik mit dem LIGA-Verfahren

Mueller, Andre; Goettert, Jost; Mohr, Jürgen



Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Buch
Jahr 1996
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 28896
Erscheinungsvermerk Karlsruhe 1996. (Wissenschaftliche Berichte. FZKA. 5786.)
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