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Profiled microdiamonds for producing microstructures

Schubert, K.; Bier, W.; Linder, G.; Seidel, D.



Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 1990
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 294490
Erscheinungsvermerk Ind. diamond rev. 50 (1990) S. 235-239.
Bemerkung zur Veröffentlichung Sonderdrucknummer 91S230
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