| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1990 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 294490 |
| Erscheinungsvermerk | Ind. diamond rev. 50 (1990) S. 235-239. |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 91S230 |