| Zugehörige Institution(en) am KIT | Fakultät für Informatik – Institut für Prozessrechentechnik, Automation und Robotik (IPR) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1998 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 298298 |
| Erscheinungsvermerk | Feinwerktech., Mikrotech., Mikroelektron. 12 (1998) S. 940-943. |