Zugehörige Institution(en) am KIT | Fakultät für Informatik – Institut für Prozessrechentechnik, Automation und Robotik (IPR) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 1998 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 298298 |
Erscheinungsvermerk | Feinwerktech., Mikrotech., Mikroelektron. 12 (1998) S. 940-943. |