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Relationship of track diameter and etching procedure

Becker, F. ORCID iD icon; Zhang, G.; Köhler, B.; Maier, S.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Informatik (IAI)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr 2011
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 300084907
HGF-Programm 43.14.03 (POF II, LK 01) System integration
Seiten 34-37
Erscheinungsvermerk Jahresbericht 2010 Institut für Strahlenforschung. KIT Scientific Reports, KIT-SR 7587 (Juli 2011)
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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