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Vom Sonderforschungsbereich 499 zum Zentrum für Integrierte Mikrofertigung

Albers, A.; Börsting, P.; WIldermuth, C.; Haußelt, J.; Kraft, O.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Materialien - Werkstoffprozesstechnik (IAM-WPT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2011
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 300085045
HGF-Programm 43.15.02; LK 01
Seiten 5-17
Erscheinungsvermerk Kraft, O. [Hrsg.] Kolloquium Mikroproduktion und Abschlusskolloquium SFB 499, 11.-12.Oktober 2011, Karlsruhe KIT Scientific Reports, KIT-SR 7591 (Oktober 2011)
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