Zugehörige Institution(en) am KIT | Physikalisches Institut (PHI) |
Publikationstyp | Buchaufsatz |
Publikationsjahr | 2000 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 30392000 |
Erscheinungsvermerk | In: Proceedings. MICRO.tec 2000, VDE World Microtechnologies Congress, Hannover, Germany 2000. Berlin 2000. |
Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 2001S81 |