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Positioniertes Verkleben von LIGA- Mikrostrukturen am Beispiel einer Mikropumpe

Keller, W.; Maas, D.; Seidel, D.



Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Buchaufsatz
Jahr 1993
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 30893
Erscheinungsvermerk In: Mikrosysteme fuer Verfahrens- und Fertigungstechnik. 3. Symposium Mikrosystemtechnik, Regensburg 1993. S. 327-330.
Bemerkung zur Veröffentlichung Sonderdrucknummer 93S122
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