Positioniertes Verkleben von LIGA- Mikrostrukturen am Beispiel einer Mikropumpe
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 1993 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 30893 |
| Erscheinungsvermerk | In: Mikrosysteme fuer Verfahrens- und Fertigungstechnik. 3. Symposium Mikrosystemtechnik, Regensburg 1993. S. 327-330. |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 93S122 |