| Zugehörige Institution(en) am KIT | Fakultät für Informatik – Institut für Algorithmen und Kognitive Systeme (IAKS) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 2001 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 30952001 |
| Erscheinungsvermerk | In: 5. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik, Chemnitz 2001. S. 259-265. |