Herstellung von beweglichen metallischen Mikrostrukturen auf prozessierten Siliziumwafern
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Hochschulschrift |
| Publikationsjahr | 1999 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | ISSN: 0947-8620 KITopen-ID: 3099 Reportnummer: FZKA-6254 |
| HGF-Programm | 41.01.03 (Vor POF, LK 01) |
| Verlag | Universität Karlsruhe (TH) |
| Umfang | 83 S. |
| Serie | Wissenschaftliche Berichte. FZKA ; 6254 |
| Art der Arbeit | Dissertation |
| Fakultät | Fakultät für Maschinenbau (MACH) |
| Institut | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Prüfungsdaten | Diss. v. 16.10.1998 |
| Prüfungsdatum | 16.10.1998 |
| Referent/Betreuer | Saile, V. Menz, W. |