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Herstellung von beweglichen metallischen Mikrostrukturen auf prozessierten Siliziumwafern

Mueller, Klaus-Dieter


Cover der Publikation
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Hochschulschrift
Publikationsjahr 1999
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 3099
Reportnummer: FZKA-6254
HGF-Programm 41.01.03 (Vor POF, LK 01)
Verlag Universität Karlsruhe (TH)
Erscheinungsvermerk Karlsruhe 1999. (Wissenschaftliche Berichte. FZKA. 6254.) Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 16.10.1998.
Art der Arbeit Dissertation
Fakultät Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Prüfungsdaten Diss. v. 16.10.1998
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