Aufbruch in die Mikrowelt. Das LIGA-Verfahren und sein Potential fuer industrielle Anwendungen
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Projekt Mikrosystemtechnik (PMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1993 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 30993 |
| HGF-Programm | 41.01.05 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Physikalische Blätter |
| Band | 49 |
| Seiten | 179-84 |
| Erscheinungsvermerk | Phys. Bl. 49 (1993) S. 179-184. |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 93S124 |