KIT | KIT-Bibliothek | Impressum | Datenschutz

Aufbruch in die Mikrowelt. Das LIGA-Verfahren und sein Potential fuer industrielle Anwendungen

Bley, Peter; Menz, Wolfgang



Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Projekt Mikrosystemtechnik (PMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 1993
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 30993
HGF-Programm 41.01.05 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in Physikalische Blätter
Band 49
Seiten 179-84
Erscheinungsvermerk Phys. Bl. 49 (1993) S. 179-184.
Bemerkung zur Veröffentlichung Sonderdrucknummer 93S124
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
KITopen Landing Page