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Aufbruch in die Mikrowelt. Das LIGA-Verfahren und sein Potential fuer industrielle Anwendungen

Bley, Peter; Menz, Wolfgang



Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Projekt Mikrosystemtechnik (PMT)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 1993
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 30993
HGF-Programm 41.01.05; LK 01
Erschienen in Physikalische Blätter
Band 49
Seiten 179-84
Erscheinungsvermerk Phys. Bl. 49 (1993) S. 179-184.
Bemerkung zur Veröffentlichung Sonderdrucknummer 93S124
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