Zugehörige Institution(en) am KIT | Projekt Mikrosystemtechnik (PMT) |
Publikationstyp | Forschungsbericht/Preprint |
Publikationsjahr | 1993 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 310029599 |
HGF-Programm | 41 (Vor POF, LK 01) |
Erscheinungsvermerk | Karlsruhe : KfK, 1990 2.Aufl., 1993 |