LIGA - Optische Komponenten
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Projekt Mikrosystemtechnik (PMT) |
| Publikationstyp | Forschungsbericht/Preprint |
| Publikationsjahr | 1993 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 310029599 |
| HGF-Programm | 41 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Karlsruhe : KfK, 1990 2.Aufl., 1993 |