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LIGA - Bewegliche Mikrostrukturen

Bley, P.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Forschungsbericht
Jahr 1992
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 310032026
HGF-Programm 41.01.04; LK 01
Erscheinungsvermerk Karlsruhe : KfK, 1992
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