Mikromembranpumpe zur Förderung von Gasen
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Forschungsbericht/Preprint |
| Publikationsjahr | 1994 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 310035939 |
| HGF-Programm | 41.06.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Karlsruhe : KfK, 1994 |