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Mikromembranpumpe zur Förderung von Gasen

Büstgens, B.; Schomburg, W.K.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Forschungsbericht/Preprint
Publikationsjahr 1994
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 310035939
HGF-Programm 41.06.02 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Karlsruhe : KfK, 1994
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