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Mikromembranpumpe zur Förderung von Gasen

Büstgens, B.; Schomburg, W.K.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Forschungsbericht
Jahr 1994
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 310035939
HGF-Programm 41.06.02; LK 01
Erscheinungsvermerk Karlsruhe : KfK, 1994
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