Zugehörige Institution(en) am KIT | Hauptabteilung Versuchstechnik (HVT) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Forschungsbericht/Preprint |
Publikationsjahr | 1995 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 310037941 |
HGF-Programm | 41.01.05 (Vor POF, LK 01) |
Erscheinungsvermerk | Karlsruhe, FZK, 1995 |