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Mikromembranpumpe. Micro diaphragm pump

Ahrens, R.; Büstgens, B.; Schomburg, W.K.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Forschungsbericht/Preprint
Publikationsjahr 1995
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 310038284
HGF-Programm 41.06.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Karlsruhe, FZK, 1995
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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