Mikromembranpumpe. Micro diaphragm pump

Ahrens, R.; Büstgens, B.; Schomburg, W. K.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Forschungsbericht/Preprint
Publikationsjahr	1995
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 310038284
HGF-Programm	41.06.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	Karlsruhe, FZK, 1995