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Mikrooptik mit LIGA-Technik

Mache, H.R.; Mohr, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Forschungsbericht
Jahr 1996
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 310039302
HGF-Programm 41.03.03; LK 01
Erscheinungsvermerk Karlsruhe : FZK, 1996
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