Thin film actuators, sensors, and protective layers for microsystem technology
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) |
| Publikationstyp | Forschungsbericht/Preprint |
| Publikationsjahr | 1996 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 310040461 |
| HGF-Programm | 41.02.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | ECCAMMA Newsletter No.2 (June 1996) |