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Thin film actuators, sensors, and protective layers for microsystem technology

Holleck, H.; Quandt, E.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Forschungsbericht
Jahr 1996
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 310040461
HGF-Programm 41.02.02; LK 01
Erscheinungsvermerk ECCAMMA Newsletter No.2 (June 1996)
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