Herstellung von Mikrobauteilen und Formeinsätzen durch optische Lithographie
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Forschungsbericht/Preprint |
| Publikationsjahr | 1999 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 310046548 |
| HGF-Programm | 41.01.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Karlsruhe : Forschungszentrum Karlsruhe GmbH, 1999 |