| Zugehörige Institution(en) am KIT | Mikrotechnologie (MIKRO) |
| Publikationstyp | Forschungsbericht/Preprint |
| Publikationsjahr | 2001 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 310049633 |
| HGF-Programm | 41.98.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Karlsruhe : Forschungszentrum Karlsruhe GmbH, 2001 |