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MODULIGA - modular gestaltete LIGA-Verfahrensschritte mit definierten Schnittstellen und Standardverfahren für schnelles Prototyping und hochpräzise Massenfertigung dreidimensionaler Mikroteile

Hahn, L.; Löchel, B.; Singleton, L.; John, L.G.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Forschungsbericht
Jahr 2003
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 310056469
HGF-Programm 41.01.01; LK 01
Erscheinungsvermerk Infobörse Mikrosystemtechnik, 45 - 2003 Teltow : VDI/VDE-Technologiezentrum Informationstechnik
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