MODULIGA - modular gestaltete LIGA-Verfahrensschritte mit definierten Schnittstellen und Standardverfahren für schnelles Prototyping und hochpräzise Massenfertigung dreidimensionaler Mikroteile
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Forschungsbericht/Preprint |
| Publikationsjahr | 2003 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 310056469 |
| HGF-Programm | 41.01.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Infobörse Mikrosystemtechnik, 45 - 2003 Teltow : VDI/VDE-Technologiezentrum Informationstechnik |