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Research activities in the LIGA laboratory at ANKA

Bade, K.; Börner, M.; Hahn, L.; Hollenbach, U.; Jakobs, P.J.; Klymyshyn, D.; Korvink, J.G.; Last, A.; Mappes, T.; Mohr, J.; Nazmov, V.; Pantenburg, F.J.; Reznikova, E.; Saile, V.; Schonhardt, S.; Schulz, J.; Wallrabe, U.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Forschungsbericht
Jahr 2008
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 310073849
HGF-Programm 55.51.04; LK 02
Erscheinungsvermerk ANKA - Annual report 2008 Karlsruhe : Forschungszentrum Karlsruhe GmbH
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