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Research activities in the LIGA laboratory at ANKA

Bade, K. ORCID iD icon; Börner, M.; Hahn, L.; Hollenbach, U.; Jakobs, P. J.; Klymyshyn, D.; Korvink, J. G.; Last, A.; Mappes, T.; Mohr, J.; Nazmov, V.; Pantenburg, F. J.; Reznikova, E.; Saile, V.; Schonhardt, S.; Schulz, J. ORCID iD icon; Wallrabe, U.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Forschungsbericht/Preprint
Publikationsjahr 2008
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 310073849
HGF-Programm 55.51.04 (POF I, LK 02)
Erscheinungsvermerk ANKA - Annual report 2008 Karlsruhe : Forschungszentrum Karlsruhe GmbH
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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