Research activities in the LIGA laboratory at ANKA
Bade, K.
; Börner, M.; Hahn, L.; Hollenbach, U.; Jakobs, P. J.; Klymyshyn, D.; Korvink, J. G.; Last, A.
; Mappes, T.; Mohr, J.; Nazmov, V.; Pantenburg, F. J.; Reznikova, E.; Saile, V.; Schonhardt, S.; Schulz, J.
; Wallrabe, U.
; Börner, M.; Hahn, L.; Hollenbach, U.; Jakobs, P. J.; Klymyshyn, D.; Korvink, J. G.; Last, A.
; Mappes, T.; Mohr, J.; Nazmov, V.; Pantenburg, F. J.; Reznikova, E.; Saile, V.; Schonhardt, S.; Schulz, J.
; Wallrabe, U.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Forschungsbericht/Preprint |
| Publikationsjahr | 2008 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 310073849 |
| HGF-Programm | 55.51.04 (POF I, LK 02) |
| Erscheinungsvermerk | ANKA - Annual report 2008 Karlsruhe : Forschungszentrum Karlsruhe GmbH |