Theoretical and experimental investigation of a new compact fiber optical confocal scanning microscope for industral surface inspection
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mess- und Regelungstechnik mit Maschinenlaboratorium (MRT) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 1992 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 312492 |
| Erscheinungsvermerk | In: Proceedings of SPIE's International Symposium on OE/FIBERS, Boston, USA 1992. S. 303-309. |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 94S2 |