A digital tester based measurement methodology for process control in multilevel metallization systems
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Fakultät für Informatik – Institut für Rechnerentwurf und Fehlertoleranz (IRF) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 1995 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 313695 |
| Erscheinungsvermerk | In: Proceedings. 1995 SPIEs Microelectronic Manufacturing Process, Equipment and Material Control in Integrated Circuit Manufacturing, Austin, Tex. 1995. Bellingham, Wash. 1995. S. 125-136. (Proceedings. SPIE. 2637.) |