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Defect parameter extraction in backend process steps using a multilayer checkerboard test structure

Hess, Christopher; Weiland, Larg H.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Rechnerentwurf und Fehlertoleranz (IRF)
Publikationstyp Buchaufsatz
Publikationsjahr 1995
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 313795
Erscheinungsvermerk In: Proceedings of the 1995 International Conference on Microelectronic Test Structures, ICMTS, Nara, Japan 1995. Piscataway, NJ 1995. S. 51-56.
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