Defect parameter extraction in backend process steps using a multilayer checkerboard test structure
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Fakultät für Informatik – Institut für Rechnerentwurf und Fehlertoleranz (IRF) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 1995 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 313795 |
| Erscheinungsvermerk | In: Proceedings of the 1995 International Conference on Microelectronic Test Structures, ICMTS, Nara, Japan 1995. Piscataway, NJ 1995. S. 51-56. |