Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Hochschulschrift |
Publikationsjahr | 1996 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | urn:nbn:de:swb:90-AAA317966 KITopen-ID: 31796 Reportnummer: FZKA-5793 |
HGF-Programm | 41.03.03 (Vor POF, LK 01) |
Verlag | Universität Karlsruhe (TH) |
Serie | Wissenschaftliche Berichte. FZKA ; 5793 |
Art der Arbeit | Dissertation |
Fakultät | Fakultät für Maschinenbau (MACH) |
Institut | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Prüfungsdaten | Diss. v. 6.2.1996 |