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Grundlagen und Anwendungsmoeglichkeiten der LIGA-Technik in der Mikrooptik

Goettert, Jost; Mohr, Juergen



Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Buch
Publikationsjahr 1993
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 32193
Erscheinungsvermerk Karlsruhe 1993. (KfK. 5153.)
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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