Grundlagen und Anwendungsmoeglichkeiten der LIGA-Technik in der Mikrooptik
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Buch |
| Publikationsjahr | 1993 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 32193 |
| Erscheinungsvermerk | Karlsruhe 1993. (KfK. 5153.) |