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Microvalves with bistable buckled polymer diaphragms

Goll, Claudia; Bacher, Walter; Buestgens, Burkard; Maas, Dieter; Menz, Wolfgang; Schomburg, Werner K.



Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 1996
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 32396
HGF-Programm 41.03.03; LK 01
Erschienen in Journal of Micromechanics and Microengineering
Band 6
Erscheinungsvermerk J. of micromech. and microengng. 6 (1996) S. 77-79.
Bemerkung zur Veröffentlichung Sonderdrucknummer 96S163
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