Microvalves with bistable buckled polymer diaphragms

Goll, Claudia; Bacher, Walter; Büstgens, Burkard; Maas, Dieter; Menz, Wolfgang; Schomburg, Werner K.

Originalveröffentlichung
DOI: 10.1088/0960-1317/6/1/017

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seit 08.12.2018

Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr	1996
Sprache	Englisch
Identifikator	ISSN: 0960-1317, 1361-6439 KITopen-ID: 32396
HGF-Programm	41.03.03 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in	Journal of micromechanics and microengineering
Verlag	Institute of Physics Publishing Ltd (IOP Publishing Ltd)
Band	6
Heft	1
Seiten	77-79
Bemerkung zur Veröffentlichung	Sonderdrucknummer 96S163