The LIGA process: a microfabrication technology with applications in medical devices
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 1996 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 32496 |
| Erscheinungsvermerk | In: Biomedical applications of synchrotron radiation. Ed.: E. Burattini. Amsterdam 1996. S. 181-207. (Proceedings of the International School of Physics "Enrico Fermi". 128.) |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 96S170 |