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The LIGA process: a microfabrication technology with applications in medical devices

Mohr, Jürgen



Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Buchaufsatz
Jahr 1996
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 32496
Erscheinungsvermerk In: Biomedical applications of synchrotron radiation. Ed.: E. Burattini. Amsterdam 1996. S. 181-207. (Proceedings of the International School of Physics "Enrico Fermi". 128.)
Bemerkung zur Veröffentlichung Sonderdrucknummer 96S170
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