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Yet another technology for space microsystems' fabrication: LIGA

Schulz, Joachim; Mohr, Jürgen; Mache, Holm-Rainer



Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 1996
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 32696
HGF-Programm 41.03.03; LK 01
Erschienen in MST News
Heft 16
Seiten 12-13
Erscheinungsvermerk mst news 16 (1996) S. 12-13.
Bemerkung zur Veröffentlichung Sonderdrucknummer 96S172
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