Yet another technology for space microsystems' fabrication: LIGA
Schulz, Joachim
; Mohr, Jürgen; Mache, Holm-Rainer
; Mohr, Jürgen; Mache, Holm-Rainer| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1996 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 32696 |
| HGF-Programm | 41.03.03 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | MST News |
| Heft | 16 |
| Seiten | 12-13 |
| Erscheinungsvermerk | mst news 16 (1996) S. 12-13. |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 96S172 |