Ultrasonic contactless measurement with micromembranes

Liebig, V.; Schomburg, Werner Karl; Koehler, B.; Sarkar, M. R.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Buchaufsatz
Publikationsjahr	1995
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 327695
Erscheinungsvermerk	In: Conference record. IEEE Instrumentation and Measurement Technology Conference, IMTC '93, Irvine, Calif. 1993. Piscataway, NJ 1993.
Bemerkung zur Veröffentlichung	Sonderdrucknummer 95S167