Ultrasonic contactless measurement with micromembranes
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 1995 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 327695 |
| Erscheinungsvermerk | In: Conference record. IEEE Instrumentation and Measurement Technology Conference, IMTC '93, Irvine, Calif. 1993. Piscataway, NJ 1993. |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 95S167 |