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Ultrasonic contactless measurement with micromembranes

Liebig, V.; Schomburg, Werner Karl; Koehler, B.; Sarkar, M.R.



Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Buchaufsatz
Publikationsjahr 1995
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 327695
Erscheinungsvermerk In: Conference record. IEEE Instrumentation and Measurement Technology Conference, IMTC '93, Irvine, Calif. 1993. Piscataway, NJ 1993.
Bemerkung zur Veröffentlichung Sonderdrucknummer 95S167
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