| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 1996 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 32796 |
| Erscheinungsvermerk | In: 3rd ICIM/ECSSM '96, Lyon 1996. Bellingham, Wash. 1996. S. 499-504. |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 96S174 |