Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Buchaufsatz |
Publikationsjahr | 1996 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 32796 |
Erscheinungsvermerk | In: 3rd ICIM/ECSSM '96, Lyon 1996. Bellingham, Wash. 1996. S. 499-504. |
Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 96S174 |