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Depth profiles within glass samples from anodic bonding experiments with copper using SNMS

Goschnick, J.; Maas, D.; Schuricht, J.; Ache, Hans Joachim


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Fakultät für Chemie – Institut für Radiochemie (Inst. f. Radiochem.)
Institut für Radiochemie (IRCH)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 1993
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 32893
HGF-Programm 41.03.02 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in Fresenius' Journal of Analytical Chemistry
Band 346
Seiten 323-26
Erscheinungsvermerk Fresenius' j. of anal. chem. 346 (1993) S. 323-326.
Bemerkung zur Veröffentlichung Sonderdrucknummer 93S115
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