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Fabrication of microlenses by combining silicon technology, mechanical micromachining and plastic molding

Koehler, Uwe; Guber, Andreas; Bier, Wilhelm; Heckele, Mathias; Schaller, Thomas



Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Buchaufsatz
Jahr 1996
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 32996
Erscheinungsvermerk In: Miniaturized systems with micro-optics and micromechanics. San Jose, Calif. 1996. Bellingham, Wash. 1996. S. 18-22. (Proceedings. SPIE. 2687.)
Bemerkung zur Veröffentlichung Sonderdrucknummer 96S178
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