Fabrication of microlenses by combining silicon technology, mechanical micromachining and plastic molding
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 1996 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 32996 |
| Erscheinungsvermerk | In: Miniaturized systems with micro-optics and micromechanics. San Jose, Calif. 1996. Bellingham, Wash. 1996. S. 18-22. (Proceedings. SPIE. 2687.) |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 96S178 |